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Micromachining and microfabrication process technology VII : 22-24 October 2001, San Francisco, [California] USA /
Publicado em 2001

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Micromachining and microfabrication process technology V : 20-22 September, 1999, Santa Clara, California /
Publicado em 1999

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Micromachining and microfabrication process technology VI : 18-20 September 2000, Santa Clara, USA /
Publicado em 2000

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